分辨率:1*108atoms/cm3,电压分辨率0.3mV,电流分辨率1pA,脉冲宽度:1μs-1000s,电容测试灵敏度0.01fF温度范围:15K-450K,扫描方式:使用不同的相关功能(软件)通过一次温度扫描,给出全部温度扫描信号;测试范围:测试频率:1MHz, 电压范围:±100V,电流范围:±15mA瞬态记录,样品速率:1μs到2000s
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