武汉大学大型仪器设备共享平台

曝光波长：405nm LED（不低于18W）
• 数字掩模板分辨率：1920*1080像素，单个像素尺寸7.6μm
• 光刻精度：20X紫外物镜：2μm；（实验确保获得精度） 50X紫外物镜：1μm（实验确保获得精度）
• 高精度电动物镜切换线轨，可实现5X,20X,50X物镜的快速切换（<1 秒），且重复定位精度优于300nm。
• 套刻对准精度：3μm
• 套刻指引：460nm/520nm/620nm，可实时虚拟曝光投影，实现所见即所得的效果。
• 支持基片尺寸：3mm×3mm（最小）；24mm×24mm（最大）
• 拼接台行程：12mm （手动）
• 调焦台运动行程：10mm（手动）
• 软件：光刻软件，可做线宽测量。