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主要规格及技术指标

1) Q-plus非接触式原子力显微镜功能，兼容常规扫描隧道显微镜功能。
2) 能使用液氮、液氦等制冷剂实现低温工作，并能实现5K至室温区间的可控变温能力，温度控制准确度<±0.5 K;
3) 完整的环境振动隔绝平台及安装方案。保证系统Z方向噪音<2pm/√Hz;
4) 原子力显微镜要求达到原子级实空间分辨率，在平面内<0.1nm, Z方向<0.02nm。最大扫描范围在77K下>4 微米。
5) 扫描隧道显微镜功能的实空间分辨率与原子力显微镜相同或接近，具备一定的扫描隧道谱探测能力（能量分辨率<10meV）
6) 面内热漂移在在液氮77K温度下<2 nm/小时；低温杜瓦一次加注液氮可持续工作时间>100小时; 体系真空度<2 x 10-10 mbar；

主要附件及配置

无

主要功能及特色

测量材料表面结构