单次扫描成像数据点≥16,000个,最大成像解析度5k X 5k,三个扫描轴上均能确保16位分辨率,样品台XY方向移动范围为2mm X 2mm,扫描范围125um X 125um X 5um,10倍Nikon物镜,
无
可获得包括绝缘体在内的固体材料表面纳米级分辨率的表面形貌及表面粗糙度等信息