电子枪:热场发射超亮型;加速电压:20kV-200kV;信息分辨率:0.12nm;STEM分辨率:0.16nm;STEM:放大倍数范围:310-330MX;4个独立的探测器BF/DF2/DF4/HAADF;超级能谱系统:4探头无窗式;CMOS相机:分辨率16M像素;磁畴分布观察系统DPC;轻元素成像系统iDPC;压电陶瓷样品台;三维重构系统:TEM、STEM及EDS;
无