1. 平台台面尺寸:1.8m×6m;2. 平台厚度:≥400mm;3. 台面精度等级:“00”级,即台面整体平面度优于0.01mm;4. 完成整体方案设计,使大理石光学平台与空气弹簧装配后整体高度:≤900mm;5. 台面承载:总承重(不含大理石平台自重)≥2000kg; 6. 完成大理石光学平台与空气弹簧装配后,光学平台整体的垂直方向固有频率f≦1.7HZ,水平方向固有频率f≦3.5HZ;7. 调平方式:自动;
无