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主要规格及技术指标

主要规格：NanoFocus µscan select M 型光学轮廓仪，配备 CLA1（共聚焦原理）色差传感器；
测量参数指标如下：
测量范围 1mm
工作距离（物距） 19.1mm
z轴分辨率 35nm
z轴分辨率 （测量范围减小时） 10nm
z轴测量精度 0.2μm
xy轴分辨率 1.8μm
xy轴测量精度 10μm
光斑直径 3.5μm
测量角度 90±45°
膜层厚度测量范围 1.5mm

主要附件及配置

CLA1（共聚焦原理）色差传感器

主要功能及特色

光学轮廓仪使用手册及操作视频详见：http://pmlab.whu.edu.cn/?p=265