光谱重复性:硅拉曼峰(520cm-1),,520峰中心位置重复性好于正负0.1cm-1阻挡激光水平:激光线和硅拉曼峰(520cm-1),激光线的强度不得大于硅520的3倍等离子线:在50-4000cm-1内无等离子线仪器灵敏度:硅三阶峰(约在1440cm-1)的信噪比好于15:1光谱分辨率:样品为氖灯585nm线,线半高度<1.5cm-1
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白光反射光谱、拉曼光谱