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三室多靶磁控溅射系统
三室多靶磁控溅射系统
仪器编号
17000286
规格
BMS660B
生产厂家
沈阳科友真空技术有限公司
型号
BMS660B
制造国家
中国
购置日期
2017-09-05
放置地点
物理学院B107
出厂日期
2017-09-05

主要规格及技术指标

四靶室与八靶室真空都优于4*10-6Pa。
样品室极限真空达到6*10-5Pa

主要附件及配置

无

主要功能及特色

磁控溅射生长模式下薄膜样品制备

公告名称 公告内容 发布日期

暂无收费标准

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