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主要规格及技术指标

（1） 实现原位多维度动态力学，多种机械性能和摩擦磨损测试
（2）能在全尺寸的扫描电子显微镜 (SEM)和聚焦离子束(FIB)系统中使用
（3）力学检测范围: 0.5 nN 到 200 mN
（4）5轴自由度 (x, y, z, 旋转, 倾斜)实现微纳米样品的精确对齐和多角度测试, 且五轴都配有高分辨率光学编码器来检测位移
（5）位移检测范围: 0.05nm 到 21mm
（6）能够实现力学和电学性能同时测试
（7）能够实现微纳米操作

主要附件及配置

无

主要功能及特色

无