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主要规格及技术指标

（1） 实现原位多维度动态力学，多种机械性能和摩擦磨损测试
（2）能在全尺寸的扫描电子显微镜 (SEM)和聚焦离子束(FIB)系统中使用
（3）力学检测范围: 0.5 nN 到 200 mN
（4）5轴自由度 (x, y, z, 旋转, 倾斜)实现微纳米样品的精确对齐和多角度测试, 且五轴都配有高分辨率光学编码器来检测位移
（5）位移检测范围: 0.05nm 到 21mm
（6）能够实现力学和电学性能同时测试
（7）能够实现微纳米操作

主要附件及配置

无

主要功能及特色

FT-MNT04原位SEM纳米压痕仪，可以做纳米压痕、微柱压缩测试、微悬臂梁断裂测试、为拉伸测试、STEM/EBSD相关的原位纳米机械测试。其中纳米压痕功能可以进行低体积材料硬度和杨氏模量的测定、定 接触力学和动力响应的量化、多轴应力下变形机理的表征；微柱压缩测试功能可以进行滑动系统临界剪切应力的测定、单轴应力下变形机理的表征、延伸损伤和局部应变量化；微悬臂断裂测试功能可以进行亚微米断裂韧性连续J积分、单调循环断裂行为的表征、单个裂纹产生和扩展的量化。微拉伸测试功能可以进行屈服应力、较为限拉伸应力和断裂伸长的测定、单调循环载荷下断裂的表征、局部应变效应和裂纹扩展的量化；