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主要规格及技术指标

电子枪
分辨率： 0.9 nm@ 15 KV 1.3 nm@ 1 KV
放大倍数：2 x– 2000,000 x（屏幕放大倍数）
加速电压：0.05-30 KV
探针电流：2 pA - 400 nA
离子枪
SEM-FIB 重合点的统计学分辨率≤2.5nm@30kv
离子枪加速电压0.5-30kv
离子枪探针电流：1pA-100nA
样品台
样品室： 宽度340 mm x 深度 315 mm
样品台： 5 轴计算机控制优中心全自动马达驱动样品台X = 130 mm；Y = 130 mm；Z = 90mm；T = -60° - 90°；R = 360°连续旋转

主要附件及配置

飞行时间二次离子质谱
质谱分辨率>800，检出限：优于5ppm，
可测H, Li等元素；可进行同位素和化学官能团的分析；
可进行元素的三维分布重构；

能谱仪（EDS）
能谱仪的有效面积不小于60mm2；
能量分辨率：在100,000CPS条件下Mn Ka保证优于129eV；
轻元素分辨率：C-K/57eV, F-K/67eV；
元素分析范围: Be 4～Cf 98；


电子背散射衍射（EBSD、同轴TKD）型号e-Flash FS
花样采集速度 945 花样/秒@8X8binning;
TKD <10 nm空间分辨率;
可实现EDS和EBSD同步采集，同步采集速度可达 170p/s。

主要功能及特色

SEM-该电镜具有较高分辨率，能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。广泛用于金属材料、高分子材料、化工原料、地质矿物、生物学、医学、考古和文物鉴定分析。
FIB-可对样品进行离子束微区加工、三维重构、TEM样品制备等
该电镜上配有飞行时间二次离子质谱仪（TOF-SIMS）、能谱仪（EDS）、电子背散射衍射（EBSD、同轴TKD）。