1.分析腔真空度优于1.5 x E-10 mbar;2.进样室真空度优于5 x E-9 mbar;3.分析腔剩余磁场不大于0.2uTesla;4.样品表面最低温度达到15 K;5.包含分析腔、进样腔、五轴闭循环氦冷却样品架;6.分析腔双层高μ金属腔体;7.进样室装备至少4-6个样品储存台;包含扫描电子源及其控制电源,氩离子枪及控制电源。
无
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