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主要规格及技术指标

XY轴行程：±50mm Z轴行程：±25mm
thetaX, thetaY行程：±15° thetaZ行程：±30°
XY轴有效运动分辨率：0.3µm
Z轴有效运动分辨率：0.2µm
thetaX, thetaY和thetaZ轴有效运动分辨率：3;3;5urad
XY轴重复定位精度：±0.6µm
Z轴有重复定位精度：±0.2µm
thetaX, thetaY轴重复定位精度：±3µrad
thetaZ轴重复定位精度：±9µrad
水平安装最大负载：250kg
任意方向安装最大负载：50kg
水平方向掉电自锁力：2000N
任意方向安装掉电自锁力：500N
六轴控制器主要技术参数：
驱动电机类型：直流伺服电机
伺服控制特性：32位PID控制
CPU：Intel Atom双核处理器1.8GHz
通讯接口：RS-232，TCP/IP
用户操作软件：PIMikromove
编程支持：LabVIEW driver, dynamic libraries fo Windows and Linux

主要附件及配置

无

主要功能及特色

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