1.物镜转盘:具备电动≥6位物镜转盘,具备在线齐焦功能 2.配备7孔位聚光镜,工作距离≥28mm,数值孔径≥0.55 3.具备手动调焦功能,调焦行程≥12mm
无
利用高能电子束充当照明光源而进行放大成像的大型显微分析设备可以进行原位的成分分析(能谱仪EDS、特征能量损失谱EELS)、表面形貌观察(二次电子像SED、背散射电子像BED)和扫描透射像(STEM)