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主要规格及技术指标

1干涉形式：菲索型，参考光路和测试光路严格共光路，采用机械移相式和抗震机械移相采样两种模式 光束输出口径：4″
2光源：稳频HeNe激光，波长：632.8nm；频率稳定度0.0001nm.提供公开彩页资料，网站备查。
3 相干长度：优于100m,(提供公开彩页备查)或者所彩页激光器厂家的技术资料证明
4带共光路的抗震移相技术测试模式，能在震动环境下测试效果和标准的测试模式达到一样的精度要求。
5 均方根值（RMS）重复性：<0.004λ
6 CCD分辨率：1200×1200
7.数据采集时间：移相结束后1-2S内出数据结果；样品表面有物理遮蔽情况下仍能测出数据，需要提供实际测试结果
8 帧速：优于150Hz；彩页备查
9 光学变焦:1-5X；电动调节；可以记录位置编码，精确复位；
10 光强调节：自动；提供软件截图
11 focus 调节：自动；提供软件截图
12校准系统：快速条纹采样系统（QFAS），双光点定位于十字线；
13 具有测试ITF 函数的功能，提供软件截图

主要附件及配置

无

主要功能及特色

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