大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

1. 主机内置2个SMU模块，一个电容测试模块，一个高压脉冲发生器模块，一个脉冲IV测量模块。
2. 2个SMU模块输出能力20mA@±100V,20mA@±50V,50mA@±30V,100mA@±10V。
3. 2个SMU模块最小测量分辨率为：电流 10fA，电压 0.5uV
4. 电容测试模块测试频率范围：1kHz至5MHz，电容测试精度（1pF,1MHz）≤±0.26%。
5. 电容测量扫描方式：C-V（直流偏置），C-f(测试频率)

主要附件及配置

无

主要功能及特色

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