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电子束刻蚀系统（场发射扫描电子显微镜+能谱仪+纳米图形发生器+主动减震台）
电子束刻蚀系统（场发射扫描电子显微镜+能谱仪+纳米图形发生器+主动减震台）
仪器编号
23000537
规格
JSM-IT800(SHL)+ELPHY PLus+AZtecLive Ultim Max65
生产厂家
日本电子株式会社
型号
JSM-IT800(SHL)+ELPHY PLus+AZtecLive Ultim Max65
制造国家
392
购置日期
2023-05-09
放置地点
文理学部文理学部东中区物理楼二期（物理学院D区）四层D-411
出厂日期
2021-12-24

主要规格及技术指标

无

主要附件及配置

无

主要功能及特色

2

公告名称 公告内容 发布日期

暂无收费标准

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