大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

一）技术规格
*1、二次电子像分辨率：≤0.5nm (15kV) ；≤0.7 nm (1kV)；≤0.9 nm (0.5 kV)；
2、加速电压：0.01kV ～ 30kV连续可调；
*3、束流范围：热场发射电子枪 1pA～500nA(30kV)，1pA～100nA(5kV)，分析效率高；
4、标准放大倍率10X-2,000,000X ；放大倍数粗、细模式连续可调，具有随着工作距离或加速电压的变化自动精确校正、补偿、预设功能。
（二）电子光学系统
1、电子枪：长寿命、高稳定性、浸没式肖特基（Schottky）热场发射电子枪，能自动合轴调整；
*2、热场发射电子枪寿命 单支电子枪3年质保；
*3、聚光镜：电磁透镜会聚系统，束流强度可连续可调；光阑角度控制透镜自动控制束斑尺寸，20nA以下无需手动切换光阑；
4、物镜：超级混合不漏磁物镜设计，可以直接观察磁性样品；最佳光阑角控制器ACL系统，强励磁圆锥形物镜极靴；
5、物镜光阑：4级可调、X/Y方向精细可调对中(20nA以下无需手动切换光阑)；
6、消像散器：八级电磁系统，具有自动消像散功能；
7、扫描线圈：2级电磁系统，具有扫描图像旋转连续可调，并随工作距离能自动旋转补偿等功能；
8、自动调整功能：具有自动透镜控制、自动合轴、自动聚焦、消像散、反差、亮度调节功能，样品台导航控制等功能，并兼有手动调整功能；
*9、实时AI图像过滤功能：样品移动过程中实时保持图像清晰。
（三）样品室和样品台
1、样品台：5轴马达驱动全对中样品台, 移动范围：X≥70mm；Y ≥50mm；Z ≥41 mm；T≥-5º~70 º；R＝360 º， 示意图在监视器上显示；
2、样品更换：标配大开门换样和气锁换样两种方式，可根据需要灵活选择；一次换样最大样品尺寸170mm(直径)。
（四）探测器及成像系统
1、标配高位混合电子探测器，二次电子探测器；
2、成像模式：同时得到二次电子像、背散射电子像，GB模式等；
3、配备可拉伸式背散射电子探测器；
4、样品室监控CCD相机。
（五）真空系统
*1、真空度：电子枪室高真空：10-7Pa ，提供离子泵用专用UPS，断电延时200小时以上供电；样品室真空：10-4Pa；
2、泵系统：分子泵、2个离子泵和机械泵。
（六）图像处理系统
1、图像处理软件 进行图像的处理、测量和编排实验报告；
2、图像显示 1920×1080；
3、图像存储 1280×960， 2560×1920， 5120×3840。
（七）电脑系统
1、操作系统 Windows 10；
2、光盘存储器 40倍速CD-RW光盘读写器；
3、显示器 23.8英寸液晶显示器。
4、CPU Intel处理器，主频3.6 GHz,4核
5、运行内存 16 GB
6、硬盘内存 1 TB
7、类型 电镜专用知名电脑工作站

（八）X射线能谱仪（EDS）
1、晶体有效面积高达65mm2，超薄窗设计, 无需液氮冷却，仅消耗电能；
2、能量分辨率：Mn Ka保证优于127eV, 元素分析范围: Be4～Cf98；
3、圆形对称芯片，最大程度地减少低能端的能量损失；
4、FET场效应管同阳极独立封装，避免X射线的轰击；
5、谱峰稳定性：1,000cps到400,000cps，Mn Ka峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV, 48小时内峰位漂移小于1.5eV；
6、具备零峰修正功能, 可以快速稳定谱峰, 开机后无需重新修正峰位；
7、探测器自动伸缩，精确定位，无需手摇；
8、脉冲与图形处理器与计算机采用分立式设计，电子图像清晰度8192*8192；
9、4096道多道分析器，处理时间、采集时间、通道数等可以自动设定。图像灰度、对比度自动调节，二次电子像及背散射像可同时采集；
10、能谱应用软件采用最新的AZtecLive实时交互平台，能够实现实时面分布成像功能，随着样品的移动，实时刷新元素面分布信息。并自动标定元素标签。同时具有位置记录功能，可以一键返回原先经过的位置；
11、基于Win7 技术，多线程设计，导航器界面, 支持用户自定义模式及账户管理，支持分屏显示及远程控制，支持中、英文等多种语言及色彩的操作界面；
12、谱定性分析：可自动标识谱峰, 无禁止自动标定的元素，可进行谱重构，重叠峰自动峰剥离功能，和峰修正功能；
13、定量分析：采用XPP定量修正技术, 对探测器硬件进行的全面Q-CAL修正。可对倾斜样品进行修正, 并增强对轻元素的修正，独家提供低电压的定量修正；具有完备的虚拟标样库；具备有标样定量分析及无标样定量分析方法；可以得到归一化和非归一化定量结果，可以用化学配位法得到非归一化结果。用户也可以自己建立标样库；
14、具备全谱智能面分布和全谱智能线扫描分析功能。一次分析即可存储样品每一扫描位置(x, y)的所有元素的信息, 用户随后可以在离线状态下重构谱图，重新添加元素。全谱智能面分布图分辨率4096*4096，并可在任意位置重构线扫描结果线。扫描宽度、平滑程度可以调节；
15、可将电镜图象传输到能谱仪的显示器上,并以该图为中心做微区分析,可选择点, 矩形, 任意不规则区域进行分析。并且可提前设定任意多点或区域，能谱可依次进行自动分析；
16、实验报告:多种输出格式，单键可生成Word文档；
17、Software软件。
（九）图形发生器
1、基于DSP技术的图形发生器硬件，扫描频率不小于20 MHz；
2、独立于计算机的电子线路机箱，保证较高的热稳定性，更好的高频屏蔽，保证最佳的电子信号质量。含有主动抗尖峰脉冲电路，对应温度微小漂移；
3、需配备6个16位高速数据收集和控制系统，通过硬件精确修正写场的平移、倾斜、旋转等畸变，可以控制步长低于纳米量级，最小步距增量不大于0.1nm；
4、可设定写场范围不小于0.5um x 0.5um ~ 2mm x 2mm；
5、供配有法拉第杯的通用样品台， 采用卡钳的方式固定小样片，样品尺寸最大为20 x 20 mm；
6、提供涂有PMMA光刻胶的测试样品，及校准标样CHESSY 一个；
7、提供专业工作站一套，不小于23寸平板显示器，已预装好Windows 系统和专业的电子束曝光软件；
8、提供束闸和束流表；
9、多用户环境，每个用户可以使用独立的文件和参数；
10、无缝集成GDSII编辑器，可对曝光图形进行分层设计（不低于64层），具有处理复杂图形的能力；
11、数据输入格式可以为DXF, ASCII, CIF；
12、提供多种扫描方式可供选择。提供圆形扫描模式，用于圆形或环形结构的扫描填充，保证图形边缘的光滑，以及低数据量的快速处理；
13、可手动或自动方式完成套刻工艺；
14、提供表面编辑模块，可直接在SEM图像上编辑图形，进行精确套刻功能，集成的成像和尺寸度量功能，可进行在线或离线的度量数据的统计分析功能。
（十）主动减振台
1、2Hz减振90%
2、减振自由度：6
3、减振频率范围：0.5-100Hz
4、稳定时间：<0.3sec
5、最大制动力：垂直方向40N,水平方向20N
6、减振方式：电磁力
（十一）主动消除器
1、磁传感器：
2、温度漂移：＜0.1nT/℃
3、零点漂移：＜0.05nT/h
3、噪声：5pT/Hz1/2@1Hz
4、磁场补偿系统：
5、最大输出电流：±3A
6、最大输出电压：±14V
7、外磁场补偿率：＞40dB(@50/60Hz)；＞20dB(@250/300Hz)
8、3dB带宽：0~1000Hz

主要附件及配置

无

主要功能及特色

2