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主要规格及技术指标

3D成像显微镜：
1.显微镜主体
a 支持无接触式3D形貌测量，表面粗糙度测量，Z轴的测量精度0.1 nm，Z轴的扫描范围：100 μm（压电台）；20 mm（重载台）。
b Z轴扫描最小步长3 nm。
c XY压电步进电机，行程不小于18 mm，闭环分辨率50 nm。
d 搭载高速采集相机。
2.物镜模组
a 电动闭环物镜切换模块，重复定位精度0.001°。
b 白光LED，光谱范围420-700 nm。
c 干涉物镜，平面消色差50倍 NA0.55，WD 3.4 mm
3.长焦物镜
a 5 倍消色差物镜
b 20 倍APO NA0.42，WD 20.5mm
c 50倍APO NA0.55，WD 13mm
d 100倍APO NA0.55，WD 13mm
4.激光整合模块
1.电动切换激光合束：
将365nm、可见光激光合束模组（405nm、473nm、532nm、671nm）、近红外激光合束模组（808nm、1064nm、1342nm、1550nm）、1950nm和4um进行激光整合，实现合束，包含程控电动镜架切换。
2.激光背壳主体：
a 反射谱光路和荧光光路程控电动切换。
b 配备K9高精度镀银反射镜，兼容波长：400nm-12,000nm，反射率大于94%。
3. 配备偏振调节（电动旋转台）：0-360°Continuous；
4. 荧光滤光片电动切换：12个SM0.5滤光片安装孔。
5.高精度运动台XY轴
1. 行程100*100mm；
2. 分辨率50nm;
3. 定位精度0.15um；
中红外激光器：
1.量子级联激光器6um：
a 中心波长为 6±0.5um
b 输出功率不低于50mW，中红外激光内置可见光波段的激光器，且光束重合。
2.量子级联激光器10um：
a 中心波长为 10±0.5um
b 输出功率不低于20mW，中红外激光内置可见光波段的激光器，且光束重合。

主要附件及配置

无

主要功能及特色

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