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主要规格及技术指标

【特点和用途】
高真空热蒸发镀膜机系统配 4 组金属蒸发源（可使用丝状源与舟状源） ；设备可与手套箱对接 方便在手套箱中操作，前滑动开门结构，设备可融入手套箱整体设计、设备机架在手套箱下方不占用额外 空间。该系列设备广泛应用于高校、科研院所的教学、科研实验以及生产型企业前期探索性实验及开发新
产品等。
【关键技术指标】
1.真空腔室：真空专用优质304不锈钢，内外物理镜面抛光处理
2.真空系统采用进口品牌分子泵和涡轮干泵
3.真空极限：优于1.0×10-5Pa；
4.漏率：优于5×10－8Pa*L/S（国家标准）；关机12小时后，真空度≤5Pa；
5.抽速：大气压~5*10-4Pa小于25min；
6.基片台：加热、旋转、电动升降功能，承载最大小于200*200样品，样品片台可旋转，0～30转／分连续可调。样品台配备热电偶检测样品实时温度
7.配备进口日本TDK蒸发电源1套。4组金属蒸发源，有机束源炉2组，对心角度可调。配备独立挡板，温控仪精确控温电源2套。
8. 完善的逻辑程序互锁保护系统。
【主要配件】
项目 单位 数 量 型号 产地 备注
真空室、管道 只 1 400×400×H450mm-550mm； 腔体镜面抛光处理 普迪真空 表面抛光 处理
主阀 只 1 插板阀 DN150 美国 VAT 公司 气动，连接
真空室和主泵
前级、旁路 只 2 40 气动挡板阀 日本 SMC
干泵 台 1 型号：爱德华兹 抽速：SC15 涡轮干泵 爱德华兹 前级+预抽
分子泵 台 1 德国普发 H i P a c e 7 0 0 德国普发
充气阀 台 1 6mm HORRBA
接口 批 1 预留 KF-40/25 等检漏预留 普迪真空
全量程真空计 套 1 MPG400 Inficon 公司
蒸发电极 套 4 4 组蒸发源蒸发源均带有 水冷功能 普迪真空
金属蒸发源及电源 套 1 GEN8-180 TDK
照明 套 1 卤素灯 普迪真空
样品台 套 1 200*200mm 普迪真空
磁流体 套 1 单轴配密封垫 Loongrise
有机蒸发电源 套 2 Z+20-10 TDK
温控仪 套 2 PID 控温 日本导电
密封其他附件 套 1 设备所需规格 普迪真空
电气控制系统 套 1 PLC+触摸屏西门子 手自动控制 西门子 PLC 普迪真空
电控柜 套 1 集成一体 普迪真空
主机架 套 1 碳钢焊接机架表面吹塑 普迪真空
掩膜板 套 1 按需定制 0. 1mm 精度以上 普迪真空
循环水冷机 套 1 0.6P 深圳朕大
静音气泵 套 1 包含 苏州
膜厚仪 套 1 SQC-310 单探头 Inficon 公司

主要附件及配置

无

主要功能及特色

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