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主要规格及技术指标

(1) 大样品台，最大可容纳样品直径210 mm，厚度15 mm；
(2) 闭环控制扫描器，扫描范围XY≥90 μm，Z≥10 μm；
(3) 闭环噪音水平XY <150 pm，Z <30 pm；
(4) 制冷加热样品台：大气环境下-30至250℃温控，精度0.2℃；

主要附件及配置

压电响应测试PFM附件；峰值力成像隧道电流Peakforce TUNA测试附件；峰值力开尔文探针显微镜PeakForce KPFM附件；液体环境成像附件；大气环境高温及负温成像附件

主要功能及特色

表面形貌表征、纳米力学、表面电学、压电力响应表征等