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主要规格及技术指标

1、离子源：两束独立全自动马达控制的全电磁线圈聚焦氩离子源，离子枪无任何耗材；
2、加速电压范围：每支离子枪能量均包含100 eV 到 10 keV，满足高电压快速减薄，低电压精细修复；
3、束斑尺寸：300μm到5mm，在每个电压下均可连续调节，实现低电压快速精修；
4、离子束束流密度：≥ 10 mA/cm2。可选择单个或者两个离子源工作，每个离子源都有独立法拉第杯直接检测电子束流值；
5、离子枪调节范围：不小于-15° ~ +10°；
6、样品台：能够水平360度连续旋转，同时可进行摇摆，减小离子束减薄时带来的窗帘效应；
7、真空系统：两级真空系统：无油干泵和不低于80L/s涡轮分子泵；

主要附件及配置

无

主要功能及特色

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