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主要规格及技术指标

1、配备二次电子探头，可实现加工的同时进行高分辨观察，具备纳米级分辨率；
2、加工离子能量范围需包括：50eV ~ 2keV；
3、离子束束斑尺寸：≤1μm，可精确定位制备样品；
4、样品台倾转角度：-10度 ~ +30度，连续可调；
5、最大离子束流：≥1mA/cm2;
6、配备液氮冷台，温度控制范围-170℃~室温连续可调；
7、系统降温时间：≤20分钟；
8、样品冷却时间：≤5分钟，保证制样效率；
9、持续制冷时间：≥6小时；
10、真空系统：无油机械泵+分子泵两级泵系统；
11、采用可编程软件控制，实时显示制样状态；
12、配备Load lock快速换样仓设计，换样时间≤10秒。

主要附件及配置

无

主要功能及特色

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