基底材料 硅晶体有效面积(长×宽) 1000 × 30 mm2半径(子午) > 40000m半径(弧矢) 45.5±0.05mm弧矢方向rms斜率误差 <5 rad子午方向rms斜率误差 <0.3 rad柱面开槽尺寸(长×宽) 1200 × 40mm2冷却槽尺寸(长×宽×高) 10001071×8×15mm3表面反射层 Rh, 镀层厚度>600 Å,镀层密度>11.8g/mm3 表面粗糙度 <3 Å rms.
无
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