光刻机
光刻机
仪器编号
5000062
规格
生产厂家
ABM
型号
ABM6#
制造国家
美国
购置日期
1970-01-01
放置地点
纳米科学与技术研究中心 微电子超净实验室
出厂日期
1970-01-01

主要规格及技术指标

6#u5149u523bu9762u79efu7ea2u5916u53ccu9762u5bf9u51c6

主要附件及配置

*

主要功能及特色

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公告名称 公告内容 发布日期

暂无收费标准