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主要规格及技术指标

设备腔体（外尺寸）长宽高应均小于650mm，以便置于手套箱内
能够同时安置三组蒸发源
配置可拆卸的耐高温腔体，且直径不超过300 毫米，以便从手套箱内取出清洗
配置不少于三个可拆卸的腔体，以便更换
在4英寸的衬底上，镀膜厚度均匀性应优于5%
配置高精度石英晶体的厚度测量功能，精度优于1nm
具备样品加热设备，加热温度不低于500摄氏度，精度1摄氏度。
真空泵抽气速度应不小于90L/s，镀膜腔体内真空度需优于10-5 mBar
样品托的高度，俯仰及旋转可调节
配置电控快门及电控排气阀
具备不小于7英寸的触摸屏，用于控制及显示镀膜参数和状态
设备参数可以手动或者预置于系统内快速调出
设备的电源及控制部件应置于手套箱外，便于系统维护
具备远程参数设定功能，便于在手套箱内操作
设备应与手套箱内的加热台，匀胶机，光刻机等设备配合工作

主要附件及配置

无

主要功能及特色

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