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主要规格及技术指标

1.可测试电阻率范围从10-4 Ω/sq到1011 Ω/sq
2.载流子浓度测试范围 106 ～ 1021 cm-3
3.载流子迁移率测试范围 1～107 cm2/V·s
4.磁场强度 0.5T(5000 Gauss)，标称 ±1%
5.磁场稳定度 0.1% over 10 years
6.磁场均匀性 ±0.1% （25mm作用半径内）
7.标准配置可提供2个温度点,室温以及77K （需要提供液氮）
8.配备变温测试平台，在-190°C 到 600°C区间内做变温测试
9.配备大面积测试平台，常温测试可放置6英寸样品承载盘

主要附件及配置

无

主要功能及特色

用于半导体及新材料在变温环境下的载流子浓度、迁移率及电阻率等电学参数测量