大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

电子源：
加速电压范围：200V-30kV；
束流范围：1.5pA-300nA；
分辨率（带冷冻载物台）：常温条件下≤2.6nm@2KV,冷冻条件下≤6nm@2kV；
离子源类型：
液态镓离子源；离子束分辨率（冷冻状态）：≤7nm@30kV；
离子源寿命：≥1200小时；
加速电压范围：500V–30kV ；
完全无油真空系统，腔室真空度（室温）：＜4e-4 Pa，
腔室真空度（冷冻）：＜8e-5Pa；
冷冻可旋转冷台，旋转范围：≥360°，XY轴行程：≥110mm，Z轴行程：≥65mm。

主要附件及配置

无

主要功能及特色

2