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主要规格及技术指标

1. XY 方向扫描范围≥90μm，Z 方向扫描范围≥10μm；XY 方向闭环噪音水 平 RMS≤0.15nm，Z 方向闭环噪音水平≤35pm；
2. 彩色 CCD 像素≥500 万，最大视场范围≥1.4mm×1.4mm，光学分辨率≤1.5µm，马达驱动自动聚焦；
3. 采用 2kHz 的频率在整个表面做力曲线，利用探针和样品之间的峰值力做反馈，峰值力 setpoint 值可低于 20pN；
4. 具有峰值力开尔文探针显微镜：可以在在纳米尺度测量样品表面的表面电势、接触电势差和功函数。包括振幅调制和频率调制两种方式，可工作在轻敲模式和峰值力轻敲模式下，包含高压模块可扩展表面电势成像范围至±200V，电势成像的空间分辨率优于 20nm；
5. 定量机械力学测试功能：在对样品表面高分辨形貌成像的同时直接获得其定量的纳米力学 性能，包括模量、粘附力、能量损失和样品变形量等。杨氏模量测试范围 10KPa~100GPa，粘附 力测试范围 10pN~10μN

主要附件及配置

无

主要功能及特色

可实现以下工作模式： 1. 接触模式 2. 轻敲模式 3. 峰值力轻敲模式 4. 智能成像模式 5. 横向力模式 6. 抬起模式 7. 扭转共振模式 8. 静电力显微镜 9. 磁力显微镜 10. 表面电势显微镜 11. 定量机械力学测试功能 12. 峰值力表面电势显微镜