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材料合成生长气相输运与沉积制备系统
材料合成生长气相输运与沉积制备系统
仪器编号
24000479
规格
CVTD
生产厂家
武汉是维光电科技有限公司
型号
CVTD
制造国家
156
购置日期
2023-12-20
放置地点
临时账临时账滨湖实验楼一层101
出厂日期
2023-11-20
主要规格及技术指标
1.高真空坩埚熔封机：满足手动和自动完成石英坩埚高真空熔封，带抽速调节及防返流阀，真空度优于E-4 Pa，专用水焊机产气量：800 L/H；最高温度：约2800 ℃；一体式钣金机箱。尺寸：1200*600*850 mm。
2.高温生长炉：高控温精度（PID控制）的多温区生长，炉膛尺寸：Φ50×1200 mm。加热原件：电阻丝。最高温度：1200℃，工作温度：≤1100℃。
主要附件及配置
无
主要功能及特色
2
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
暂无收费标准
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