(一)微量注入泵设备参数
1、注入泵可以长期输送流体或加压气体,提供连续无脉冲的稳定流体,能恒速、恒压工作;
2、注入泵计量准确、精度高,具有抽吸、排液、预增压功能,换向阀为电磁阀和气动阀;
3、流量范围:0.001-17mL/min,工作压力可保持在9500psi,可独立控制也可与计算机联动控制;
4、支持Windows系统计算机控制和其他设备的内置和可选接口;
5、能保证在泵运行时也能即时访问菜单屏幕,允许即时更改操作参数;
6、接液材料与大多数水性和有机液体、腐蚀性溶液、加热流体、液化气体、粘性流体或浆料和糊状物相容;
7、提供接口用于计算机控制或监控操作参数;
8、微量注入泵须具有冗余安全设计,除了出厂默认设置或用户设置的限制外,还应具有机械和电气故障保险装置;
9、气缸、活塞和盖子的标准材料 具有出色的强度和耐腐蚀性;10、压力传感器具有出色的稳定性和可重复性;11、高温和高精度压力传感器和密封件兼容,最高可达 200 °C(0.1% 线性精度);
12、标准密封件在恶劣的操作条件下提供非常长的使用寿命;
13、传动系统具有自动润滑齿轮,确保长寿命和低维护 。
(二)中间容器设备参数
1、活塞容器材质:316L不锈钢,容积不小于500mL,耐压不低于70MPa;
2、活塞运动能保持平稳且无脉冲现象,可根据压力的大小可调节密封圈的松紧;
3、活塞容器及流程管线须均采用不锈钢材质加工而成,活塞容器需具备阻力小、活塞运动平稳等特点。
(三)微观模型夹持器设备参数
1、微观模型夹持器一般规格:模型尺寸:75*75*3mm;刻蚀区域尺寸:45*45*3mm,同时,需要适配该尺寸以内的多种尺寸;
2、微观模型夹持器工作压力可长期保持在60MPa,最高耐压不低于70MPa;
3、微观模型夹持器工作温度可长期保持在150℃,最高耐温不低于180℃;
4、微观模型夹持器可视范围直径不小于70mm,且入口死体积须小于0.08mL;
5、高温高压可视反应釜耐压不低于70MPa,材质使用316L不锈钢整体加工,工作温度可长期保持在150℃,可视窗直径不小于65mm,可视材质蓝宝石;
6、高温高压可视反应釜用于装配光刻模型,光刻模型尺寸一般为45mm×45mm;7、压力传感器、温度传感器布置方式可根据需求进行定制。
(四)环压自动跟踪泵设备参数
1、全自动压力跟踪泵压力范围0-70MPa,跟踪压力0-5MPa,精度≤±0.1F.S;
2、环压随着内压的变化而自动跟踪,从而保证环压和内压保持固定的差值;
3、差压值、误差值、传感器的零点及满量程的矫正等参数随时可调,具备手动、电动、恒压、跟踪功能,能保证跟踪速度快、跟踪差值精确;
4、既有普通电动泵的加压和精确计量功能(电动进泵、电动退泵、点动进泵、点动退泵、手动进泵、手动退泵),还需要对外给定压力进行自动跟踪的功能,另外还设有断电保护、超压保护、位置保护等功能;
5、电动泵部分具备泵的进退功能,可以实现泵速的连续可调。
(五)回压系统设备参数
1、主要由回压阀、回压缓冲容器和回压泵等组成;
2、回压阀可以精确控制系统出口压力,回压调节范围0~50MPa,稳定压力,控制波动幅度在±0.1MPa范围内。
(六)温控系统设备参数
1、主要由半开式加热套及半开式保温套、温度控制仪表、控制电路等部分组成,用于微观模型的加热;
2、恒温箱底座带轮,可移动,正面设有钢化玻璃窗,可观察恒温箱内部情况;
3、恒温箱具有环保的填充保温材料;
4、控温范围:室温⁓100℃,控温精度:±0.5℃;
5、恒温箱工作温度:室温~150℃,控制精度±0.1℃;
6、恒温箱具有良好的风道处理方案使得温度均匀,均匀度≤±1℃;
7、恒温箱具有良好的控制端和控温算法使得升温迅速、控温平缓精确;
8、恒温箱带有控制面板,由面板操作控制并显示温度,并能通过控制终端设置温度、输出实时温度;
9、恒温箱需要具有自动保护机制,温度超过警戒值可以自动报警并同时切断加热电源;
10、恒温箱的控温电源开关、照明开关、风机开关需保证独立控制。
(七)光学透射成像系统设备参数
1、光学透射成像系统主要包含试样载物台、无频闪面光源;
2、试样载物台须具有上下、左右以及旋转(±90°)的微调节功能,不受其反光造成图像采集中造成的光波污染;3、无频闪面光源为工业检测LED面光源,包括发光面板与外部调控适配器。
(八)显微镜设备参数
1、该系统主要包括体视显微镜、照相机、荧光系统;
2、设备为科研级全自动体视显微镜,10x目镜下放大倍数范围不低于7.5x-150x;
3、需采用国际标准的Telescope(CMO)光学原理设计,复消色差光学系统。提供最高分辨率、最大景深、无失真的3D图象。正常保养情况下,光路系统寿命在40年以上;
4、1.0x物镜下最高分辨率不低于1.2um,最大工作距离不小于70mm;
5、底座支架:大尺寸底座,尺寸不小于440mm×340mm;支架高度不小于490mm;
6、变倍比:不低于20:1,变倍精度0.1x,电动无极变倍。变倍速度3种可选(高、中、低);
7、镜体倍率控制器:电动无极变倍,可实时显示显微镜当前放大倍数、目镜、物镜、分辨率、景深、视场直径等。且带有2个快捷按钮,可自定义常规使用倍率等信息;
8、双目镜筒:具备记录光口,可安装视频输出,眼距范围55mm~75mm可调。眼点高低可调(高、低两个位置);
9、目镜:10x目镜一对,视场数不低于23mm。带有目镜测微尺,可在观察时直接测量长度;
10、物镜:要求所有物镜均采用平场复消色差物镜,使用高折射率低色散天然萤石材料及特殊镀膜技术,镀膜防霉。是最高分辨率、最大景深、无失真的研究级高性能多功能物镜;
11、研究级高性能多功能物镜1.0x,工作距离不低于70mm,放大倍数范围不低于7.5x-150x;
12、照明装置:采用高亮度高性能LED冷光源,带有LCD显示功能,光通量要求不下于600LM。带调光装置和色温显示,照明器寿命60000小时以上;
13、照明方式:要求具备反射光环形光照明、反射光荧光照明等多种模式;
14、记录装置:要求配置显微镜原厂高分辨彩色相机,有效物理像素不低于800万;具有4K高清拍照和录像功能,帧率不低于30fps;带有拍照按键;带有制冷功能;
15、需要配有荧光成像系统:荧光光源需为连续光谱,寿命不小于2000h;具备蓝色激发波段,支持将来拓展其他波段;采用光导管传输,支持拓展与实验室现有倒置显微镜(Axio Observer.7M)联用;
16、其它附件:十字线10mm/100等分的目镜测微尺1个,1/100mm台尺1个,防尘罩一个;
17、图像处理软件:软件功能包括图像采集、多种图像处理方式、几何参数测量、加载标尺、图像标注等功能。
(九)计量系统设备参数
1、计量系统主要包含微量气体计量系统、压力温度测量系统、天平;
2 、微量气体计量系统要保证流量范围至少在1mL/h~1L/h ,气体入口压力范围至少在0.8×10-3MPa~0.01MPa;3、压力温度测量系统的压力测量精度达到0.1%F.S;
4、模型测压点压力传感器带通讯功能可由控制中心采集、显示、存储;
5、具备温度测控系统用来实现恒温箱、高温高压可视釜、模型出入口管路的温度控制并显示实时温度,同时采集到控制中心进行处理;
6、天平量程:220g;精度:0.001g。
(十)中央控制系统设备参数
1、中央控制系统主要包含控制程序和控制中心;
2、控制程序:实现注入泵压力、驱替速度数据控制与采集、恒温箱温度控制与采集、高温高压可视釜温度压力控制与采集、模型压力数据采集、显微镜摄像机图像信息采集、简单故障提醒、报警显示等。
(十一)计算机、打印机设备参数
1、联想主流配置,i5处理器,1T硬盘,23英寸显示器;
2、惠普激光打印机,最大处理幅面:A4;接口类型:USB 2.0接口,打印分辨率:600×600dpi。
(十二)备件及工具
1、备用附件及配套工具能够完成设备安装、拆卸、调试、实验、维护;
2、工具包括各类固定扳手、活扳手、螺丝刀、锉刀、管线钳、用于拆卸高温高压可视釜的扭矩扳手以及相关专用工具。
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