大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

1.无孔径散射扫描光学近场显微镜
1）扫描范围：XY：100 μm × 100 μm；Z ≥ 2.5 μm；
2）扫描分辨率：X ≤ 0.2 nm；Y ≤ 0.4 nm；Z ≤ 0.2 nm;
3）样品台承载最大样品尺寸：40 mm × 50 mm × 15 mm（X,Y,Z）
4）探针最高500kHz共振频率悬臂；
5）设备配置双光路设计，支持2个以上独立的光路集成（机械/AFM和s-SNOM信号），可实现1-5阶信号可以同时信号解调；
6）数据采集：最大1024×1024像素
2.s-SNOM近场成像系统
1）中红外近场照明模块，提供宽波OPO激光器，覆盖4990-7000 cm-1，2300-4300 cm-1，600-2000 cm-1波数；可见和近红外模块，提供532 nm，633nm, 1064nm, 1550nm激光器；
2）反射式模块适用于可见光、近红外和中红外光谱区域纳米成像；
3.高光谱成像模块
高光谱成像测试范围为650-2200 cm-1
4.拉曼光谱仪和CCD相机，包括拉曼光谱模块
1）光谱仪：包括3个光栅（600 l/mm - 750 nm，300 l/mm - 1200 nm，和600 l/mm - 1600 nm）；
2）InGaAs近红外CCD探测器，光谱范围：600 nm-1.7 μm，在有AFM反馈的情况下，InGaAs探测器探测抛面物镜的光谱范围为~950 nm及以上。

主要附件及配置

s-SNOM优化的AFM成像系统；
s-SNOM近场成像系统（反射式探测模块适用于可见光、近红外和中红外广谱区域纳米成像）；
高光谱成像模块650-2200 cm-1；
拉曼/光致发光光谱模块（光谱范围950-1700 nm）；
AFM contact模式。

主要功能及特色

系统简介：散射式近场光学显微镜（简称s-SNOM)作为新型近场光学技术，使用散射点代替传统孔径(如光纤)，从而获得更高的空间分辨率。s-SNOM的基本原理是：一个被照明的颗粒会在其周围形成增强的光场，而这个近场会被其附近的样品改变，这种近场相互作用会导致在远场接受到的散射光带有样品局部的光学性质。在实际应用中，轻敲模式的AFM针尖即可被用作散射源，而其近场光学空间分辨率只由AFM针尖的曲率半径决定。当一束激光聚焦到一个标准属涂层AFM针尖上时，会在针尖顶点形成一个比激发波长小几千倍，尺寸只由针尖曲率半径决定的纳米焦点。这个纳米焦点用来局部探测样品，通过记录探针扫描样品过程中的散射光可以获得近场光学成像。是AFM-IR测试系统的升级和补充。

功能特色：s-SNOM 是一种超分辨光学显微镜，能像 AFM-IR 一样在纳米尺度探测材料的化学成分，但基于近场光散射而非热膨胀信号。neaSCOPE系统作为少有的成熟的s-SNOM系统，利用其创新的高阶解调技术，通过采用高阶近场信号，有效的压制背景信号，从而获得高信噪比稳定的散射近场信号，解决了s-SNOM技术在实际应用中的难题，而其干涉式探测技术更是率先实现了近场信号强度和相位的同步测量。