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主要规格及技术指标

1.注入泵：流速范围包含0.001~30mL/min，工作压力包含大气压~50MPa
2.装配可调角度芯片池的高温高压可视釜：工作压力包含大气压~25MPa，工作温度包含室温~100摄氏度
3.中间活塞容器：三个，工作压力包含大气压~50MPa，单个容积不少于200mL
*4.恒温水浴箱：可实现外接循环控温和池内浸泡控温
5.回压系统：工作压力包含大气压~50MPa，控制精度±0.1MPa
*6.流体接触部件材质：316L
7.系统各处密封部件耐酸、耐氢腐蚀（正常连续使用至少半年内不出现由于腐蚀导致的密封失效问题）
*8.高压管路阀门等使用进口高质量产品
9.各电器针对氢气使用场景具备防爆功能
10.导热仪：准确度及重读性不低于±3%，分辨率不低于0.0005W/（m・K），测量范围包含0.001~50.0W/（m・K）
11.橡胶渗流夹持器：工作压力包含大气压~25MPa，工作温度包含室温~100摄氏度

主要附件及配置

无

主要功能及特色

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