大范围闭环管状扫描器:XY>90µm,Z>7.5µm;扫描方式为样品扫描;噪声水平:XY<0.2nm,Z向<0.5Å;可容纳样品尺寸:45mm×45mm×18mm
无
广泛应用于表征样品表面形貌,获得样品尺寸,厚度、粗糙度及电学性质等信息。