大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

.1前级真空系统
1.1.1初级泵为无油涡旋泵，抽速≥15m3/h
1.1.2分子泵与离子泵之间配全金属角阀，角阀口径为：DN63CF
1.1.3分子泵抽速≥700 L/s
1.1.4整体系统极限真空度≤1×10-7Pa
1.1.5配备全量程复合规、控制器，测量范围≥8×10-9到 1000 mbar
1.1.6分子泵组具有一键启动功能，可以实现全自动抽真空。
1.2离子泵技术要求:
1.2.1泵口极限压强：≤1×10-8Pa;
1.2.2离子泵实际抽速应好于名义抽速的 95% ;
1.2.3 100L/s 的离子泵泵口为 CF100，表面1cm处泵体漏磁5Gs；25L泵口为CF35。
1.2.4 200L/s 的离子泵泵口为 CF150，表面1cm处泵体漏磁5Gs；
1.2.5泵的安装角度：任意角度；
1.2.6泵体自身漏率：≤1×10-12Pa·m3/s；
1.2.7泵的启动压强：≥1×10-4Pa；
1.2.8使用寿命≥50000小时；
1.2.9工作电压4-8kV内有至少两个固定档位可选；
1.2.10离子泵自带烘烤，烘烤温度按照厂家设计温度即可；
1.2.11抽速和极限真空测试按照 ISO/DIS 35561-1-1992 标准进行；
1.2.12去除氢气及减少材料的出气率，离子泵的泵芯须经≥750℃的真空炉中处理工艺；
1.2.13包含离子泵对应的控制器；
1.2.14离子泵须经过 RGA（残余气体分析）分析工艺；
1.2.15每台离子泵均提供离子流与真空度的测试曲线；
1.2.16包含对应的高压耐辐射线缆与高压头。离子泵高压头：防尘、防潮，寿命长，可以在不打开离子泵抽气孔情况下自由更换；具有磁屏蔽功能；可在不拔下高压电缆的情况下可进行烘烤。
1.3吸气剂泵
1.3.1激活方法:通电加热
1.3.2推荐激活电流: ≥5.2 A
1.3.3推荐激活功率:≥ 60 W
1.3.4吸气速率(对H2):≥ 400 L/S
1.3.5吸气速率(对CO):≥ 180 L/S
1.3.6吸气总量(对H2):≥ 400 Torr.L
1.3.7吸气总量(对CO): ≥1.4 Torr.L
1.3.8外形尺寸：组装好的吸气剂泵总长度约22cm，最大外径7cm，接口口径：DN40CF
1.4抽气三通波导：
1.4.1中心工作频率为2997.924MHz、承受脉冲峰值功率≥45MW。
1.4.2抽气波导具有水冷结构，（冷却水温度稳定性±0.1℃），水冷管管径为Φ16；

主要附件及配置

无

主要功能及特色

2