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主要规格及技术指标

1．类型：斐索干涉仪
2．机械相移干涉技术
3．测量光束尺寸:英寸4”
4．测量对象平面镜，曲面镜
5．调整可视范围±3°
6．成像分辨率2300*2300
7．相机帧速210Hz
8．波长633nm
9．波前重复性:<0.35nm
10．像素峰值偏差:<0.5nm
11．光瞳调焦范围:±2m
12．标准平面镜头4”,λ/50PVr（@633nm）镀光强衰减膜（4%~99%）Ultraflat -
4" Dynaflect, lambda/50 PVr, coated 633nm.
13．抗震模式：QPSI
14．供电标准：220V(ac),50Hz

主要附件及配置

无

主要功能及特色

ZYGO 的 Verifire HD 和 Verifire HDX 被设计和制造用于表征极致性能光学元件和系统的中频信息。 标准配置包括 QPSI 以及 ZYGO 制造的长寿命稳定激光器、一流的成像和分辨率、高仪器传递函数（ITF）、卓越的中频能力和高斜率表面偏差表征功能。