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主要规格及技术指标

技术指标、产品功能
加工能力:
(1)加工空间:2200X2200X300mm;
(2)最大加工零件重量:800kg(含镜框及工装);
(3)加工零件表面粗糙度:RMS<0.5nm;
(4)加工零件面形精度:PV值最高可达入/100，RMS<1nm。翻运动轴系:
(1)轴系数量:X、Y、Z、A、B五轴:
(2)轴系电机类型:X轴/Y轴/Z轴电机为真空直线电机;A轴/B轴采用大扭矩真空伺服电机+高精度减速机;
(3)行程:X轴/Y轴有效行程2200mm、Z轴有效行程260mm、A轴/B轴有效行程土45;
(4)X轴/Y轴/Z轴最大速度6000mm/min、A轴/B轴20rpm;
(5)X轴/Y轴/Z轴最大加速度2m/s2;
(6)X轴/Y轴/Z轴重复定位精度士5um;A轴/B轴重复定位精度20"。真空系统:
(1)极限真空度4X10-4 Pa,工作真空度1X10-2Pa;(2)主腔工作真空抽取时间1.5h。
离子源系统:
(1)离子源类型:射频型离子源;
(2)最大射频功率:300W;
(3)离子束径:2-20mm可调;
(4)溅射污染满足20-10要求;
(5)离子源工作方式为连续输出，并带高频闪断功能接口;(6)连续稳定工作时间:500h。
工艺软件:
(1)可加工零件形状:平面、球面、非球面、离轴非球面及自由曲面;(2)去除函数库文件制作支持。
自动化功能:
(1)支持一盘多片加工，可根据要求一次性安装不同形状、不同规格的镜片，一次完成所有镜片加工;
(2)具有摄像头和探针对刀功能。

主要附件及配置

1.大口径离子束抛光机
2.软件运行狗

主要功能及特色

离子束抛光机主要用于大口径光学反射镜表面面形的超高精度修形，精度优于：0.015波长(PV),适用于2000mm以内超大口径光学元件的面形精加工，在卫星及空间载荷研制过程中不可或缺，在航空、航天、光学工程等领域具有较为广泛的应用，属于通用设备。