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主要规格及技术指标

一. 电子光学系统 1. 二次电子像分辨率：500 V，1 kV和15 kV分别由于1.0，0.7和0.6 nm。 2. 着陆电压可调：20 V-30 kV；电子束流：0.8 pA-100 nA。 3. 光阑精细可调自动对中，配备电子束减速模式。 二. 探测器 配备有五种电子探测器：镜筒内探测器，镜面探测器，极靴内电子探测器，可伸缩性定向电子探测器，通用ET电子探测器。 三. 样品台和样品室 1. 五轴马达驱动，X Y Z轴采用压电陶瓷驱动。

主要附件及配置

能谱仪 Oxford Ultim Extreme和X-Max型

主要功能及特色

可以进行材料表面微区成分的定性和半定量分析，在材料表面做元素的面、线、点分布分析。