最小加工线宽8nm,最大加工面积4寸;场发射电子束源,束流范围5pA-20nA,束斑小于1.6 nm;写场0.5微米-2mm,套刻、拼接精度好于40nm;灰度曝光;工作距离传感器,保;扫面过程焦距稳定
无
可进行大面积、小尺寸结构的图形曝光