电子束曝光机
仪器编号
18000183
规格
230V 16A 60Hz
生产厂家
德国Raith公司
型号
eLINE Plus
制造国家
德国
购置日期
2016-12-03
放置地点
文理学部文理学部东中区物理楼二期(物理学院D区)二层D-106D-108
出厂日期
2016-12-03

主要规格及技术指标

最小加工线宽8nm,最大加工面积4寸;场发射电子束源,束流范围5pA-20nA,束斑小于1.6 nm;写场0.5微米-2mm,套刻、拼接精度好于40nm;灰度曝光;工作距离传感器,保;扫面过程焦距稳定

主要附件及配置

主要功能及特色

可进行大面积、小尺寸结构的图形曝光

公告名称 公告内容 发布日期

暂无收费标准