大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

测试频率范围：10MHz至26.5GHz
测试端口数：4个，内置双源，具有可配置测试座
测试端口处系统动态范围（指标值）:127dB@0.5GHz-20GHz
最大输出功率（指标值）：+13dBm@0.5GHz-24GHz
幅度轨迹噪声（1kHz IFBW，指标值）：0.002dB rms @1GHz至20GHz
相位噪声（10kHz频偏）：-117dBc/Hz@1GHz载波，-93dBc/Hz@10GHz载波
最大测量点数：100001点，最大中频带宽：15MHz
配有对应频率范围的校准件和柔性稳相位电缆
能够通过Wafer Pro软件控制仪表和Cascade 探针台完成测试

主要附件及配置

无

主要功能及特色

精密自动测试，包括MEMS、射频/微波、器件性能测试、晶圆级别可靠性、建模等