大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

材料阻抗测试系统由两大部分组成，包括阻抗分析仪和宽带放大器。主要指标如下： 1.阻抗分析仪： 阻抗分析仪的频率范围：1MHz至3GHz，频率分辨率1mHz； 基本阻抗测试精度：≤±0.8%； 测量阻抗参数：|Z|、θ z、|Y|、θ y、Cp、Cs、Lp、Ls、Rp、Rs、D、Q、R、X、G、B等； 可扫描参数：测量信号频率、信号电压、信号电流等； 校准：开路器校准、短路器校准、50欧姆负载校准、低损耗电容校准； 其它特性：等效电路分析功能、内置VBA； 仪器带Windows操作系统，配置触摸显示屏； 配探针台连接套件，能和探针台连接进行测试；

主要附件及配置

无

主要功能及特色

精密自动测试，包括MEMS、射频/微波、器件性能测试、晶圆级别可靠性、建模等