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主要规格及技术指标

半导体参数分析系统由两大部分组成，包括半导体参数分析仪，分析仪和探针台联机配件。主要指标如下： 1.半导体参数分析仪： 1）电流测量分辨率：10fA 2）电压测量分辨率：0.5uV 3）电压输出范围：±200V 4）电流输出范围：±1A 5）具有4个源测量单元，分别对CMOS,FET器件的三个端子和衬底施加激励和测试 6）支持准静态和中频电容-电压测试，频率范围：1kHz~5MHz 7）电容C测量精度：±0.1%@1kHz 100nF 8）支持电容采样的C-t功能 9.）IV-CV测试切换开关，满足一次连接多次测量的 10）最小脉冲宽度：50ns

主要附件及配置

无

主要功能及特色

精密自动测试，包括MEMS、射频/微波、器件性能测试、晶圆级别可靠性、建模等