大型仪器设备开放共享网络平台

主要规格及技术指标

1）8英寸探针台，移动范围203mm×203mm以上；载物台寄生电容≤75fF，需提供公开发布的测试指标数据 2）载物台X-Y方向：分辨率1µm、重复精度 ≤2µm，移动速度 ≥50mm/sec；Z方向移动范围 ≥5mm、分辨率1µm、重复精度 ≤1µm； 3）在Theta方向：移动范围±5.5°；分辨率0.65µm；重复精度±2µm； 4）平台高度提升范围5.0 mm；移动重复精度≤3µm；可停留在任意角度；

主要附件及配置

无

主要功能及特色

精密自动测试，包括MEMS、射频/微波、器件性能测试、晶圆级别可靠性、建模等