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主要规格及技术指标

1、白光干涉垂直扫描技术要求：垂直扫描范围：0-150m（压电陶瓷扫描）纵向分辨率：0~150um范围内≤0.1nm
2、扩展扫描范围：150um~15mm（步进电机扫描）
3、基于2技术要求的全部范围和条件下，测试能力要求达到：可测量超光滑表面，Ra测试精度≤0.1nm，可测量表面类型：透明、不透明；镀膜、非镀膜；反射、低反射
4、扫描速度：≥114m/s
5、 基于1.4技术要求的全部范围和条件下，RMS重复性：≤0.01nm
6、台阶测量重复性精度：≤0.1%

主要附件及配置

无

主要功能及特色

对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。