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激光直写设备
激光直写设备
仪器编号
19000070
规格
PicoMaster 100
生产厂家
4PICO B.V.
型号
-
制造国家
荷兰
购置日期
2018-06-21
放置地点
先进制造与人工智能实验室101室
出厂日期
2018-05-10
主要规格及技术指标
最小加工线宽300nm，激光器寿命超过2000小时，最大加工区域超过50mm*50mm，能够在不同材料上完成激光直写过程，兼容CoreDRAW绘图软件
主要附件及配置
无
主要功能及特色
主要用于制作各种光栅、MEMS和半导体芯片。本设备选用405nm激光光源，最小分辨率可达300nm
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
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