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主要规格及技术指标

1）电子枪：肖特基场发射电子枪
2）分辨率：≤0.6 nm@15 kV, SE； ≤1.0 nm@ 1 kV, SE；
3）加速电压范围：20V~30kV :
4）放大倍数范围：1x~2,500,000x (1 ~ 16x为光学放大）；
5） 样品台类型：五轴机械优中心样品台；行程：X≥110 mm, Y≥110 mm, Z≥65 mm, T: -10° ~ +70° , R: 360° 连续可调；
6） 配备旁侧二次电子探测器和镜筒内电子探测器；
7）集成式背散射电子和X射线传感成像探测器。

主要附件及配置

国仪量子高分辨场发射扫描电子显微镜SEM4000，搭载斜插ULTIM MAX能谱仪（Oxford）能谱及平插UNITY能谱仪（Oxford）。

主要功能及特色

无