"分辨率: (高真空模式下30kV时, 3.5nm) (低真空模式下30kV时, 3.5nm) (ESEM环境真空模式下30kV时, 3.5nm) (低真空模式下3kV时, 15nm)"
EDS能谱仪(EDAX)
主要用于材料及生物样品的微观表面形貌和元素成分分析