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主要规格及技术指标

1. 离子束系统：
1.1 离子源类型：液态镓离子源。
1.2 离子束分辨率：3nm@30KV（采用多边统计平均算法）。
1.3 离子源束流强度：最小值不高于1pA，最大值不低于100nA。
1.4 离子源寿命：不小于1500h。
1.5 离子束加速电压：0.5-30KV ，10V步长连续可调。
1.6 放大倍数：300x-500,000x连续可调。
1.7 样品室内零磁场，保证电子束、离子束可以在任何模式下都能实时观察工作。
2． 电子束成像系统：
2.1 高稳定性热场发射电子枪，稳定度优于0.2%/h；。
2.2 二次电子分辨率：0.9nm@15KV，1.7nm@1KV。（采用多边统计平均算法，无样品台减速模式，标准模式）。
2.3 电子束电压调节范围：0.02-30KV，10V步长连续可调，无需模式切换。
2.4 电子束束流：5pA-20nA。
2.5 放大倍数：12x-2,000,000x，连续可调。
2.6 电子光路系统具备色差校正设计。
3． 多功能探测器系统：
3.1 样品室内二次电子探测器。
3.2 镜筒内正光轴二次电子探测器。
3.3 镜筒内正光轴背散射电子探测器，适合重金属染色生物组织块样品成像。配有能量栅网，可以通过调节能量（0V到-1.5KV）来进行成像，获得最佳衬度图像，同时可以有效地消除curtain（窗帘）效应对图像的影响。
3.4 样品室红外CCD相机2个。
4． 样品承载系统：
4.1 样品室直径不小于330mm，高度不小于270mm；具有18个附件/探测器接口。
4.2 最大样品尺寸直径不小于150mm ，可360度旋转。
4.3 样品台倾斜维度摆动中心与电子束/离子束交叉点重合。
4.4 六轴马达超优中心样品台： 样品台行程：X=Y=100mm，Z=50mm，T=-4°- 70°， M= -5 – 8mm, R=360度。
4.5 样品台控制：双操纵杆控制器，多功能键盘及鼠标控制。
5． 气体注入系统：
5.1 铂沉积气体，通过GUI软件控制，气体容量为1.0cm3。
6． 图像处理与显示系统：
6.1 单张图像存储分辨率：最大可达32k x 24k像素，16位。
6.2 降噪模式：像素平均，面平均，线平均，面积分，线积分。
6.3 2台高性能24寸TFT显示器。
7． 先进的三维重构软件

主要附件及配置

无

主要功能及特色

无