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射频等离子体源系统
射频等离子体源系统
仪器编号
25000262
规格
PCS-RF-AO
生产厂家
SPECS GmbH公司
型号
PCS-RF-AO
制造国家
德国
购置日期
2024-03-12
放置地点
出厂日期
2024-02-12
主要规格及技术指标
1.1 电子束最大功率：≥500 W@13.56 MHz；≥400 W（氧气）；
1.2 束斑尺寸（源位置）：≥20 mm
1.3 工作距离：不小于50- 300 mm；
1.4 真空内长度：≥ 240 mm
1.5可烘烤至200℃，集成水冷设计；
2 电源控制单元
2.1 功率控制范围：≥ 500 W；
2.2 配置阻抗匹配调控；
3 自动调节单元
3.1 可自动稳定射频功率；
3.2 可自动匹配源的阻抗输出至50 Ohm；
主要附件及配置
无
主要功能及特色
无
| 公告名称 | 公告内容 | 发布日期 |
|---|
暂无收费标准
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