1.高精度、高稳定性、大束流、长寿命的离子束加工系统:液态镓离子源,3nm@30KV,1pA-100nA,1500h,0.5-30KV,300x-500000放大倍数2.高分辨率、高效率电子束成像3.多功能探测器系统4.样品承载系统5.气体注入系统6.图像处理与显示系统7.先进三维重构系统8.控制与真空系统9.光学显微镜部分
无
表面形貌,三维重构,截面,微纳加工