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主要规格及技术指标

1. 能够进行非破坏、标准的电学信号测试。能够实现高真空（<1*10-5 torr）高低温(80K-475K)测试环境。最大测试范围可达51mm，整体系统工作漏电流小于100fA；
2. 真空腔：化学镀镍铝材质，203 mm直径×132 mm高，63.5mm石英观察窗口；
3. 四探针臂，探针臂温度计：可实现51mm范围移动测量；
4. 光纤：采用IRVIS光纤，支持波长400至2100 nm；
5. 高低温样品底座：高低温测试防漏电；
6. DC/RF探针：低漏电流测量，电绝缘> 100GΩ；
7. 温控仪：实现80K-475K的温度控制；
8. 观察显微镜：观察真空腔中样品位置；

主要附件及配置

无

主要功能及特色

无